晶圆用机械臂式全自动超声波清洗机
晶圆用机械臂式全自动超声波清洗机是一种专门设计用于清洗半导体晶圆的设备。晶圆是半导体芯片制造过程中的重要组成部分,需要在制备和加工过程中保持高度的洁净度。该设备结合了机械臂和超声波清洗技术,能够自动执行清洗过程,提供高效、精确的晶圆清洗解决方案。 产品特点 1、自动化清洗:设备采用机械臂进行晶圆的自动加载、定位、清洗和卸载,减少人工操作,提高生产效率和一致性。 2、超声波清洗技术:通过超声波振动,产生微小气泡和剧烈冲击力,能够有效去除晶圆表面的污垢、颗粒和有机物,保持晶圆的洁净度。 3、清洗液供应系统:清洗机配备了精确的清洗液供应系统,确保清洗液的成分、温度和流量的稳定性,以获得高质量的清洗效…